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鑫藍環(huán)保硅烷廢氣處理方式及工藝流程

文章出處：鑫藍環(huán)保鑫藍動態(tài)網(wǎng)責(zé)任編輯：蔡作者：蔡人氣：-發(fā)表時間：2022-11-02 00:00:00【大中小】

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物，硅烷廢氣處理采用燃燒+洗滌法凈化硅烷氣體，系統(tǒng)內(nèi)包含：硅烷廢氣燃燒設(shè)備+濾筒除塵器+噴淋塔。主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理。

二、工作原理

工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風(fēng)補氣口補入的空氣接觸而自燃或發(fā)生氧化反應(yīng)，反應(yīng)后生成大量的二氧化硅粉塵；氨氣采用洗滌塔噴淋吸收形成氨水。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設(shè)備的安全性。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效，后續(xù)工藝還配套了濾筒除塵技術(shù)，進一步去除氧化硅粉塵，提升粉塵的治理效率。

三、用途

主要適用于太陽能、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷廢氣處理。

鑫藍環(huán)保科技（昆山）有限公司，專注于大型工廠廢氣處理、粉塵處理，是一家集廢氣粉塵處理系統(tǒng)設(shè)計、制造與銷售為一體的生產(chǎn)廠家。主營產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒、RCO催化燃燒、有機廢氣處理設(shè)備、防爆除塵器、酸堿廢氣處理設(shè)備、脈沖濾筒除塵器、脈沖布袋除塵器、單機除塵器、倉頂除塵器、旋風(fēng)除塵器、噴淋塔、活性炭吸附箱、靜電除油設(shè)備等。

鑫藍環(huán)保擁有一批經(jīng)驗豐富的研發(fā)、設(shè)計、制造及安裝售后人員，從現(xiàn)場勘察、方案設(shè)計、產(chǎn)品制造、設(shè)備安裝及售后服務(wù)，建立了一套完善的制度。產(chǎn)品廣泛運用于電子、機械、制藥、食品、塑料、汽車制造、機加工、木業(yè)、水泥、鋼鐵、造船等多種行業(yè)。工程業(yè)績已遍布上海、江蘇、浙江、安徽、山東、河南和江西等省份。