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為什么半導(dǎo)體車間都會安裝廢氣處理設(shè)備

文章出處：鑫藍(lán)環(huán)保鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)網(wǎng)責(zé)任編輯：小蔡作者：小蔡人氣：-發(fā)表時(shí)間：2022-04-28 00:00:00【大中小】

為什么半導(dǎo)體車間都會安裝廢氣處理設(shè)備，因?yàn)榘雽?dǎo)體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性，尤其是在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機(jī)廢氣等，在排放到大氣之前通過廢氣處理設(shè)備去除這些氣體。這需要在大多數(shù)半導(dǎo)體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設(shè)備。因此我們鑫藍(lán)提出安全可靠的廢氣處理裝置以及RTO蓄熱式焚燒設(shè)備，能夠對這些氣體進(jìn)行有效處理。

半導(dǎo)體車間廢氣處理設(shè)備選擇標(biāo)準(zhǔn)：

(1)半導(dǎo)體生產(chǎn)車間廢氣處理設(shè)備的選擇是根據(jù)待消除氣體的種類、濃度、流量和壓力，減排設(shè)備的處理能力，綜合考慮農(nóng)藥的壽命、前后與設(shè)備的關(guān)系等多種情況，挑選合適的處理方法和設(shè)備。

(2)半導(dǎo)體生產(chǎn)車間廢氣處理設(shè)備在混合時(shí)將會爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應(yīng)該是一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)。
(3)可能有自燃性氣體或可燃?xì)怏w流動(dòng)的排風(fēng)管道采用不燃材料。

(4)不可以讓半導(dǎo)體生產(chǎn)車間廢氣處理設(shè)備規(guī)格中規(guī)定的廢氣以外的廢氣流動(dòng)，或準(zhǔn)許大量廢氣流動(dòng)超出廢氣處理設(shè)備的處理水平。

鑫藍(lán)環(huán)保作為一家廢氣處理設(shè)備一站式解決服務(wù)商，依托工程大學(xué)環(huán)保技術(shù)支持，擁有設(shè)備制造廠和熟練安裝隊(duì)伍；客戶超過上千家，涵蓋大型焊煙打磨行業(yè)、橡膠行業(yè)、涂料油墨行業(yè)、家居建材行業(yè)、PCB電子行業(yè)、汽車行業(yè)、家電行業(yè)、化工行業(yè)、新能源鋰電池行業(yè)、航空航天新材料行業(yè)和醫(yī)療行業(yè)等領(lǐng)域；先后獲得了江蘇省環(huán)境污染乙級設(shè)計(jì)資質(zhì)、江蘇省環(huán)境污染乙級治理資質(zhì)、質(zhì)量管理體系認(rèn)證、職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證、江蘇省優(yōu)秀科技企業(yè)、蘇州市市級守合同重信用企業(yè)等榮譽(yù)稱號。